发明名称 PLASMA-CVD-VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROKRISTALLINEN SI:H-SCHICHT
摘要
申请公布号 DE50001303(D1) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE20005001303 申请日期 2000.07.25
申请人 SCHOTT GLAS 发明人 LOHMEYER, MANFRED;BAUER, STEFAN;DANIELZIK, BURKHARD;MOEHL, WOLFGANG;FREITAG, NINA
分类号 C23C16/24;C23C16/515;C23C16/56;H01L21/205;H01L31/04;H01L31/075;(IPC1-7):C23C16/56 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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