| 摘要 |
<p>Es wird ein Sensorelement (5) zur Erfassung einer physikalischen Messgrösse wie eines Druckes, einer Temperatur, einer Kapazität oder einer Spaltweite zwischen zwei sich bei Betrieb relativ zueinander bewegenden, tribologisch hoch beanspruchten Körpern (10, 20) vorgeschlagen. Dabei ist bereichsweise zwischen den sich relativ zueinander bewegenden Oberflächen der Körper (10, 20) in einem Oberflächenbereich von mindestens einem der Körper (10) eine sensitive Schicht (13, 30), insbesondere ein Sensiersteg (13), vorgesehen, die von dem Körper (10) über eine Isolationsschicht (12) getrennt ist. Die Isolationsschicht (12) weist dabei mindestens zwei Teilschichten (31, 32) auf, wobei eine Teilschicht (31) eine gegenüber der sensitiven Schicht (13) elektrisch zumindest schlecht leitende Schicht (31) ist, und wobei eine Teilschicht (32) eine gegenüber der vergleichsweise schlecht leitenden Schicht (31) tribologisch höher belastbare Schicht ist, und/oder die die Isolationsschicht (12) ist eine Schicht die zumindest im Wesentlichen aus Kohlenstoff besteht, oder die Kohlenstoff, Sauerstoff und Silizium enthält. Das vorgeschlagene Sensorelement (5) eignet sich vor allem zur Erfassung von Messgrössen zwischen tribologisch hoch belasteten, geschmierten Bauteilen im Kontaktbereich.</p> |
