发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Kondensators einer Halbleiterspeichervorrichtung
摘要
申请公布号 DE4441153(C2) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE19944441153 申请日期 1994.11.18
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 RYOU, EUI KYU
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824;H01G4/40 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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