WHEEL-TYPE WAFER HOLDER COMPRISING A PRESSING ELEMENT,申请号EP20010951616-传众专利搜索

发明名称	WHEEL-TYPE WAFER HOLDER COMPRISING A PRESSING ELEMENT
摘要
申请公布号	EP1294958(A1)	申请公布日期	2003.03.26
申请号	EP20010951616	申请日期	2001.06.21
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH	发明人	SCHEERER, BERND;REINER, JOHANN;GRUENINGER, BERND;LOEFFEL, ANDREAS
分类号	C23C14/50;H01L21/687;(IPC1-7):C23C14/50;H01L21/00	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
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