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发明名称 OSCILLATING FIXED ABRASIVE CMP SYSTEM AND METHODS FOR IMPLEMENTING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1294535(A1) 申请公布日期 2003.03.26
申请号 EP20010948569 申请日期 2001.06.22
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 SALDANA, MIGUEL, A.;OWCZARZ, ALEKSANDER, A.
分类号 B24B7/20;B24B21/00;B24B21/04;B24B37/04;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B7/20
代理机构 代理人
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