| 发明名称 |
Illuminating und imaging device for a plurality of spectral regions and coordinates measuring machine with a illuminating and imaging device for a plurality of spectral regions |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1186854(A3) |
申请公布日期 |
2003.03.26 |
| 申请号 |
EP20010120206 |
申请日期 |
2001.08.23 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
发明人 |
MUELLER-RENTZ, ARNOLD |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/03;G02B27/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00;G02B7/10 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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