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发明名称
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申请公布号 JP2003511871(A) 申请公布日期 2003.03.25
申请号 JP20010530903 申请日期 2000.10.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01S5/02;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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