| 发明名称 |
Device for treating a disc-shaped object |
| 摘要 |
The invention relates to a device for treating at least one bottom of a disc-shaped object.
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| 申请公布号 |
US6536454(B2) |
申请公布日期 |
2003.03.25 |
| 申请号 |
US20010846049 |
申请日期 |
2001.05.01 |
| 申请人 |
SEZ AG |
发明人 |
LINDNER JOHANNES |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):B08B3/02 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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