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发明名称
摘要
申请公布号 JP3390633(B2) 申请公布日期 2003.03.24
申请号 JP19970205344 申请日期 1997.07.14
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;G02F1/1335;G02F1/135;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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