发明名称 液体流系统
摘要 本发明系有关于液体流系统,而且更特别的系有关被使用于半导体产业的液体流系统。在一项实施例中,本发明系被指向一种被用来安装于一装配表面上的流体作动杆。此流体作动杆包含一个被安置于该流体作动杆内的第一流动元件,以及一个被安置于该流体作动杆内第一流动元件与装配表面之间的第二流动元件,而且此第二流动元件是与第一流动元件流体连通。
申请公布号 TW524944 申请公布日期 2003.03.21
申请号 TW091110216 申请日期 2002.05.16
申请人 单元仪器公司 发明人 吴金恩
分类号 F16K51/02 主分类号 F16K51/02
代理机构 代理人 林镒珠 台北市中山区长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种被用来安装于一装配表面上的流体作动杆,该流体作动杆包含:一个被安置于该流体作动杆内的第一流动元件;以及一个被安置于该流体作动杆内于该第一流动元件与该装配表面之间的第二流动元件,而且该第二流动元件系与第一流动元件流体连通。2.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该第一流动元件包含一质流控制器。3.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一个从一由过滤器、阀门、感测器和其组合所组成之群组中挑选出来的元件。4.如申请专利范围第3项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一个从一由压力转换器、蒸气感测器、温度感测器和其组合所组成之群组中挑选出来的感测器。5.如申请专利范围第3项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一流体过滤器。6.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其进一步包含:一个支架,其系被安置于至少是第一流动元件和第二流动元件其中之一与装配表面之间;以及一个被安置于该支架内的流道。7.如申请专利范围第6项之流体作动杆,其进一步包含复数个相互连结的支架。8.如申请专利范围第6项之流体作动杆,其中该支架会支撑住该第一流动元件且与该第二流动元件流畅地连通。9.如申请专利范围第8项之流体作动杆,其中该第二流动元件系整合支架一起被制作。10.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该装配表面包含一部份气体盒。11.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其进一步包含:一个被安装于第一流动元件与装配表面之间的第三流动元件。12.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该第二流动元件的出口系与第一流动元件的入口流体连通。13.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该第二流动元件的入口系与第一流动元件的出口流体连通。14.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该第二流动元件至少部份地支撑住该第一流动元件。15.如申请专利范围第1项之流体作动杆,其中该第二流动元件的可靠性系优于第一流动元件。16.一种被用来安装于一装配表面上的流体作动杆,该流体作动杆包含:一个被安置于该流体作动杆内的质流控制器;以及一个被安置于该流体作动杆内质流控制器与装配表面之间的流体过滤器,而且该流体过滤器系与该质流控制器流体连通。17.一种流体作动杆,其包含:一个入口;一个出口;以及复数个通常被配置成沿着一介于入口与出口间之第一轴线和彼此串接流体连通的流动元件;其中该复数个流动元件中的一第一流动元件和一第二流动元件系沿着一个通常系与该第一轴线交叉之第二轴线被配置。18.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第一流动元件包含一质流控制器。19.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一个从一由过滤器、阀门、感测器和其组合所组成之群组中挑选出来的元件。20.如申请专利范围第19项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一个从一由压力转换器、蒸气感测器、温度感测器和其组合所组成之群组中挑选出来的感测器。21.如申请专利范围第19项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一流体过滤器。22.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第一流动元件和第二流动元件更还包含第三流动元件。23.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第一流动元件和第二流动元件系流体连通。24.如申请专利范围第23项之流体作动杆,其中该第二流动元件的出口系与第一流动元件的入口流体连通。25.如申请专利范围第23项之流体作动杆,其中该第二流动元件的入口系与第一流动元件的出口流体连通。26.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第二流动元件至少部部份地会支撑住该第一流动元件。27.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第二流动元件的可靠性系优于第一流动元件。28.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中该第二流动元件包含一个整合第二流动元件一起被制作的第三流动元件。29.如申请专利范围第28项之流体作动杆,其中该第三流动元件系被安置于第二流动元件内。30.如申请专利范围第17项之流体作动杆,其中在该第二流动元件内所流动的液体至少部份地系朝向与在气体作动杆内流动之液体相反的方向。图式简单说明:图1为沿着如图3所示A-A直线所截取之本发明实施例的末端横剖面图;图2为如图1所示之实施例的俯视图;图3为沿着如图2所示B-B直线所收之图1实施例的横剖面侧视图;图4为如图1所示之实施例的立体图;图5为如图1所示之实施例一项态样的立体图;图6为如图1所示之实施例一项态样的立体图;图7为如图1所示之实施例一项态样的立体图;图8为沿着如图10所示A-A直线所截取之本发明另一实施例的末端横剖面图;图9为如图8所示之实施例的俯视图;图10为沿着如图9所示B-B直线所截取之图8实施例的横剖面侧视图;图11为如图8所示之实施例的立体图;图12为如图8所示之实施例一项态样的立体图;图13为如图8所示之实施例一项态样的立体图;图14为如图8所示之实施例一项的立体态样图;图15为着如图17示A-A直线所取之本发明另一实施例的末端横剖面图;图16为如图15所示之实施例的俯视图;图17为沿着如图16所示B-B直线所取之图8实施例的横剖面侧视图;图18为如图15所示之实施例的立体图;图19为如图15所示之实施例一项态样的立体图;图20为如图15所示之实施例一项态样的立体图;图21为如图15所示之实施例一项态样的立体图;图22为如图15所示之实施例一项态样的立体图;图23为沿着如图25所示A-A直线所截取之本发明另一实施例的末端横剖面图;图24为如图23所示之实施例的俯视图;图25为沿着如图24所示B-B直线所截取之图23实施例的横剖面侧视图;图26为如图23所示之实施例的立体图;图27为如图23所示之实施例一项态样的立体图;图28为如图23所示之实施例一项态样的立体图;以及图29为如图23所示之实施例一项态样的立体图。
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