| 发明名称 |
CHAMBRE DE REACTION METALLIQUE ANTI-CORROSION DE PROCEDE CVD OU RTP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2818292(B1) |
申请公布日期 |
2003.03.21 |
| 申请号 |
FR20000016596 |
申请日期 |
2000.12.19 |
| 申请人 |
JOINT INDUSTRIAL PROCESSORS FOR ELECTRONICS |
发明人 |
LAPORTE FRANCK;GUILLON HERVE;DUCRET RENE PIERRE |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/48;C21D1/26;C23C16/40;C23C16/513;C23F11/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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