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发明名称 Behandlungsgerät
摘要
申请公布号 DE69718990(D1) 申请公布日期 2003.03.20
申请号 DE19976018990 申请日期 1997.10.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 FAIRBAIRN, KEVIN;TAYLOR, NICK W.;BARZILAI, JESSICA;PONNEKANTI, HARI
分类号 C23C14/00;C23C16/44;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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