LIGHTING SYSTEM WITH A PLURALITY OF INDIVIDUAL GRIDS
摘要
Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Wellenlängen 100 nm mit einer Objektebene und einer Feldebene. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Beleuchtungssystem umfasst: mindestens ein Gitterelement, das eine Vielzahl von Einzelgittern mit einer dem Einzelgitter zugeordneten Gitterperiode aufweist mindestens einer physikalischen Blende in einer Blendenebene, die dem Gitterelement im Strahlengang von der Objektebene zur Bildebene nachgeordnet ist.