包括衍射光学调制器的红外传感器

摘要

本发明的衍射光学调制器包括：其一部分起第一电极作用的平板；在该平板上形成的隔离层；以及由许多其一部分起第二电极作用的桁条构成的光栅，桁条的两端支撑在该隔离层上。在衍射光学调制器中，通过调节加在第一和第二电极之间的电压，桁条和平板间的距离将发生变化，从而控制其衍射效率。在平板和许多桁条之间进一步提供有绝缘层。

主权项

1.一种红外传感器，包括：用于会聚红外光的透镜和热电元件，其中，进一步提供有衍射光学调制器，用于接收该透镜会聚的红外光并将其至少一部分输出给该热电元件，该衍射光学调制器包括：其一部分起第一电极作用的平板；在该平板上形成的隔离层，以及由许多其一部分起第二电极作用的桁条构成的光栅，桁条的两端支撑在该隔离层上，其中，通过调节加在第一电极和第二电极之间的电压，桁条和平板间的距离将发生变化，从而控制衍射光学调制器的衍射效率。