| 发明名称 | 常压等离子体系统 | ||
| 摘要 | 本发明披露了一种共用确定等离子区(5)、安装在容腔(2)内的电极(4)的常压等离子体系统(1)。该容腔具有到大气入口组件(10)和出口组件(11)的开口，用于通过等离子区(5)连续传输工件。所说明的实施例针对其相对密度低于大气相对密度的先行处理气体，使得处理气体在容腔(2)内上升将较重的大气和废气排出。对于其相对密度比大气高的气体，入口组件和出口组件(10和11)位于等离子区(5)的上方。 | ||
| 申请公布号 | CN1404619A | 申请公布日期 | 2003.03.19 |
| 申请号 | CN01804735.1 | 申请日期 | 2001.02.12 |
| 申请人 | 陶氏康宁爱尔兰有限公司 | 发明人 | 安舍尼·赫伯特;费尔咖尔·奥雷利;朱尔斯·布拉德尔;彼得·多宾 |
| 分类号 | H01J37/32 | 主分类号 | H01J37/32 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 1.一种非热平衡型常压等离子体(APP)系统(1)，该系统包括：多个电极(3)，形成一个等离子区，安装在容腔(2)内，在同样压强和温度下其相对密度比大气密度高或低的非大气先行处理气体，其特征在于，该系统包括：气密容腔(2)，具有到大气入口组件(10)和大气出口组件(11)的开口，入口组件和出口组件分别具有工件开口(12、13)以及工件封装口(14、15)，其中对于先行处理气体的相对密度大于大气相对密度的情况，所述入口组件和出口组件位于等离子区(5)的上方，而对于先行处理气体的相对密度低于大气相对密度的情况，所述入口组件和出口组件位于等离子区(5)的下方；以及装置(20)，用于在电极(3)之间从入口组件(10)到出口组件(11)移动工件。 | ||
| 地址 | 爱尔兰科克 | ||