| 发明名称 |
PULSED HIGHLY IONIZED MAGNETRON SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1292717(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.19 |
| 申请号 |
EP20010941428 |
申请日期 |
2001.06.19 |
| 申请人 |
CHEMFILT R & D AKTIEBOLAG |
发明人 |
KOUZNETSOV, VLADIMIR |
| 分类号 |
H05H1/24;B01J3/00;B01J19/08;C23C14/00;C23C14/32;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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