Method and apparatus for seasoning a substrate processing chamber,申请号EP19980107962-传众专利搜索

发明名称	Method and apparatus for seasoning a substrate processing chamber
摘要
申请公布号	EP0892083(B1)	申请公布日期	2003.03.19
申请号	EP19980107962	申请日期	1998.04.30
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	QIAO, JIANMIN;CHAN, CHIU;CHAN, DIANA;LEUNG, CISSY S.;SAHIN, TURGUT
分类号	H01L21/302;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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