一种用于CO<SUB>2</SUB>－NOx气体监测的薄膜型传感器

摘要

本发明属于电化学领域，特别适用于大气监测、汽车尾气监控及其他科学研究。特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化铝双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO₃)₂等硝酸盐及Na₂CO₃等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。整个传感器的直径仅0.8～1.2cm，厚0.3～0.5cm，可同时测试大气中的CO₂及NO_x含量；信号以毫伏(mV)输出，易于和自控设备连接；应答时间：20－30秒；使用温度：350－450℃；不受氧或氮等气体干扰，可直接放置于大气中；测试范围：1－150ppm NO_x；0.01－0.5％CO₂。本发明优点在于该传感器体积小，结构简单，成本低，而且可对CO₂－NO_x两种气体实现同时测量。

主权项

1.一种用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器，其特征在于传感器由部分稳定的氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)双固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。