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发明名称 GATE OXIDATION FOR VERTICAL TRENCH DEVICE
摘要
申请公布号 EP1292982(A2) 申请公布日期 2003.03.19
申请号 EP20010948584 申请日期 2001.06.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP. 发明人 MICHAELIS, ALEXANDER;TEWS, HELMUT, HORST;KUDELKA, STEPHAN;GRUENING, ULRIKE;BEINTNER, JOCHEN;SCHROEDER, UWE
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8242;H01L29/04;H01L29/423;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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