净化有害气体的方法

摘要

本发明公开一种净化有害气体的方法，它包括使含氟化氮，氟化钨，氟化硅，氟化氢和氟中的至少一种成分，特别是三氟化氮的有害气体，在最低为200℃的温度下与含氧化亚锡作为有效成分的净化剂接触。上述方法能够在较高性能和较低的温度下净化有害气体而又不产生有害气体或可能引起环境污染的气体副产物。

主权项

1.一种净化有害气体的方法，其中包括使含至少一种选自氟化氮，氟化钨，氟化硅，氟化氢和氟的成分的有害气体在最低为200℃的温度下与含氧化亚锡作为有效成分的净化剂接触。