| 发明名称 | 蒸发物体涂层材料的装置 | ||
| 摘要 | 通过物理方法(PVD)使用低压电弧蒸发物体涂层的材料的装置，此装置配有一个磁场源(4a，4b，4)和电弧的一个阳极(3)和一个阴极(2a，2b，2)。至少一个阴极(2a，2b，2)和至少一个磁场源(4a，4b，4)可在涂层腔(1)中旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN1404620A | 申请公布日期 | 2003.03.19 |
| 申请号 | CN01805258.4 | 申请日期 | 2001.12.14 |
| 申请人 | SHM公司 | 发明人 | 帕维尔·霍卢巴日;幕伊米尔·伊列克 |
| 分类号 | H01J37/32 | 主分类号 | H01J37/32 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王敬波 |
| 主权项 | 1、通过物理方法使用低压电弧蒸发用于物体涂层的材料的装置，此种装置配有一个磁场源和电弧的一个阳极和一个阴极，其特征在于至少一个阴极(2a，2b，2)和至少一个磁场源(4a，4b，4)可在一涂层腔(1)中关于彼此绕枢轴旋转。 | ||
| 地址 | 捷克新马林 | ||