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发明名称 CHEMICAL AMPLIFICATION RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1209525(A4) 申请公布日期 2003.03.19
申请号 EP20000942481 申请日期 2000.07.11
申请人 MITSUBISHI RAYON CO., LTD. 发明人 FUJIWARA, TADAYUKI;WAKISAKA, YUKIYA;TOOYAMA, MASAYUKI
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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