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发明名称 EPITACTIC APPARATUS
摘要
申请公布号 US3610202(A) 申请公布日期 1971.10.05
申请号 USD3610202 申请日期 1969.05.23
申请人 SIEMENS AG. 发明人 ERHARD SUSSMANN
分类号 C23C16/00;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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