| 发明名称 |
Method and apparatus for in situ removal of contaminants from ion beam neutralization apparatuses |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0762469(B1) |
申请公布日期 |
2003.03.19 |
| 申请号 |
EP19960305963 |
申请日期 |
1996.08.15 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
BLAKE, JULIAN GASKILL |
| 分类号 |
H01J37/317;C23C14/00;C23C14/48;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/30;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
