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发明名称 VERTICAL TRANSISTOR COMPRISING A MOBILE GATE AND A METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1292529(A1) 申请公布日期 2003.03.19
申请号 EP20010936280 申请日期 2001.04.26
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 GESSNER, THOMAS;BERTZ, ANDREAS;HEINZ, STEFFEN
分类号 B81B3/00;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/84;(IPC1-7):B81B3/00;B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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