CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION,申请号SG20010000240-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号	SG94738(A1)	申请公布日期	2003.03.18
申请号	SG20010000240	申请日期	2001.01.18
申请人	SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED	发明人	YASUNORI UETANI;SEONG-HYEON KIM;YOSHIYUKI TAKATA
分类号	H01L21/027;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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