| 发明名称 |
Method of depositing an oxide layer on a substrate and a photovoltaic cell using said substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002322952(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.18 |
| 申请号 |
AU20020322952 |
申请日期 |
2002.08.23 |
| 申请人 |
UNIVERSITE DE NEUCHATEL |
发明人 |
ULRICH KROLL;JOHANNES MEIER |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/455;H01B13/00;H01L21/44;H01L23/48;H01L23/52;H01L29/40;H01L31/04;H01L31/075;H01L31/18;H01M14/00;(IPC1-7):H01L31/18 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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