发明名称 INSPECCION Y MANIPULACION DE PIEZAS DE TRABAJO.
摘要 SISTEMA DE ALINEACION Y CAMBIO DE PIEZAS PARA TRASLADAR PIEZAS CIRCULARES DE UN PRIMER PUESTO DE INSPECCION A UN SEGUNDO PUESTO DE MAQUINIZACION. CONSTA DE UN SISTEMA DE SOPORTE DE LA PIEZA PARA UNIRLA A LA CARA DE UNA PIEZA CIRCULAR Y TRASLADAR LA ULTIMA DE UNA POSICION A OTRA. UN ROBOT CONTROLA LA POSICION DEL SISTEMA DE SOSTEN DE LA PIEZA Y ESTA ADAPTADO PARA MOVERSE EN AL MENOS DOS DIRECCIONES ORTOGONALES, AMBAS PARALELAS AL PLANO DEL DISCO CUANDO OCUPA EL PRIMER PUESTO. SE GIRA EL DISCO EN EL PUESTO DE INSPECCION Y EN EL DE MAQUINIZACION Y EL SISTEMA DE INSPECCION DETERMINA LA POSICION DEL CENTRO GEOMETRICO DEL DISCO CUANDO LO GIRAN. EL SISTEMA INFORMATICO CALCULA A PARTIR DE LOS DATOS APORTADOS POR EL SISTEMA DE INSPECCION LOS DOS CAMBIOS NECESARIOS A LO LARGO DE LAS DIRECCIONES ORTOGONALES DEL MOVIMIENTO DEL ROBOT PARA DESPLAZAR EL CENTRO GEOMETRICO DEL DISCO A UNA SEGUNDA POSICION DESEADA CUYAS COORDINADAS SE CONOCEN. LAS COORDENADAS SON LAS DEL CENTRO DE GIRO DEL SOSTEN DE LA PIEZAO DEL PLATO EN LA CITADO SEGUNDO PUESTO. EL SISTEMA DE SOSTEN DE LA PIEZA FUNCIONA AL VACIO. SE UTILIZA UN ROBOT DE TRES EJES PARA RECOGER O COLOCAR LAS MICROPLAQUETAS CIRCULARES DE UN MATERIAL SEMICONDUCTOR PARA RECTIFICAR LOS BORDES, Y SE HACE USO DEL DESPLAZAMIENTO A LO LARGO DE DOS EJES DE ROBOT, X Y Z, PARA CONTROLAR EL CENTRADO DE LA MICROPLAQUETA SOBRE UN PLATO DE VACIO EN EL SEGUNDO PUESTO DE RECTIFICACION.
申请公布号 ES2183181(T3) 申请公布日期 2003.03.16
申请号 ES19970925193T 申请日期 1997.06.11
申请人 UNOVA U.K. LIMITED 发明人 STOCKER, MARK, ANDREW;FALKNER, DERMOT, ROBERT;MORANTZ, PAUL, MASTIN, HOWARD;PIERSE, MICHAEL, GEORGE
分类号 B24B41/06;B23Q1/36;B23Q3/18;B23Q17/24;B24B1/00;B24B5/04;B24B5/06;B24B9/00;B24B9/06;B24B17/04;B24B17/06;B24B19/02;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B49/00;B24B49/02;B24B49/12;B24B53/00;B24B53/07;B24B55/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):B24B41/00;B24B47/22 主分类号 B24B41/06
代理机构 代理人
主权项
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