| 发明名称 |
REAKTOR UND VERFAHREN ZUM BEHANDLUNG EINES HALBLEITERSUBSTRATS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT233430(T) |
申请公布日期 |
2003.03.15 |
| 申请号 |
AT19980650052T |
申请日期 |
1998.08.11 |
| 申请人 |
MICRO C TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
MAHAWILI, IMAD |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;C23C16/52;H01L21/00;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/00;G01J5/08 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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