| 发明名称 |
Wafer-Träger- und/oder -Beförderungs-Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19753471(C2) |
申请公布日期 |
2003.03.13 |
| 申请号 |
DE19971053471 |
申请日期 |
1997.12.02 |
| 申请人 |
LG SEMICON CO. LTD., CHEONGJU |
发明人 |
HAN, SUK-BIN |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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