| 摘要 |
<p>Zwischen einer Messanordnung (1) und einer Oberfläche (7) werden Translationsbewegungen gemessen, indem eine Lichtquelle (2) einen kohärenten Lichtstrahl (c) mit einer Hauptausbreitungskomponente in z-Richtung auf die sich relativ zu der Messanordnung in der x-y-Ebene bewegende Oberfläche (7) richtet und vor der Oberfläche ein teilreflektierendes Beugungsgitter (4) positioniert wird, das derart ausgebildet ist, dass das daran reflektierte Licht mehrere Beugungsordnungen (r-y, r+y, r-x) Ausbreitungskomponenten in -y - Richtung, in +y - Richtung, in -x - Richtung und in +x - Richtung aufweist, die gleich stark sind, und dass es einen anderen Teil des kohärenten Lichtstrahls (t) durchlässt, um an der Oberfläche (7) gestreut zu werden und sich mit dem am Beugungsgitter reflektierten Licht zu überlagern.</p> |
