发明名称 Verfahren und Anordnung zur Herstellung eines leitfähigen strukturierten Polymerfilms
摘要 Es wird eine zweischichtige Anode (1') zur elektrochemischen Polymerisation verwendet. Die untere Schicht (2) besteht aus einem nichtleitfähigen Trägermaterial, auf das eine leitfähige Elektrodenschicht (3') aufgebracht ist, die in Teilbereichen zur Bildung von nichtleitfähigen Bereichen entfernt ist. Die nichtleitfähigen Bereiche haben eine vorgegebene Struktur, die der Struktur des zu bildenden strukturierten Polymerfilms (11) entspricht. Die Anode (1') wird zusammen mit einer Platinkathode in einen Elektrolyten gehalten, in den niedermolekulare Verbindungen, vorzugsweise Monomere des zu bildenden Polymerfilms (11) eingebracht sind. Über Anode (1') und Kathode wird ein Stromfluß durch den Elektrolyten erzeugt. Dabei wird auf den mit dem Elektrolyten in Kontakt gebrachten leitfähigen Bereichen ein leitfähiger Polymerfilm (11) der vorgegebenen Struktur gebildet. Auf den strukturierten Polymerfilm (11) wird eine nichtleitfähige Substratschicht (13) aufgebracht, an der der strukturierte Polymerfilm (11) haftet. Der strukturierte Polymerfilm (11) läßt sich mit der nichtleitfähigen Substratschicht (13) problemlos von der Elektrode (1') lösen. Die Elektrode wird dabei nicht beschädigt und kann anschließend sofort wieder zur Abschaltung eines neuen strukturierten Polymerfilms verwendet werden. Auf diese Weise können leitfähige strukturierte Polymerfilme mit hoher Auflösung äußerst kostengünstig und in Massenproduktion hergestellt werden.
申请公布号 DE10140666(A1) 申请公布日期 2003.03.13
申请号 DE20011040666 申请日期 2001.08.24
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET BRAUNSCHWEIG 发明人 BECKER, EIKE;KOWALSKY, WOLFGANG;JOHANNES, HANS-HERMANN
分类号 H01L27/28;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/40;(IPC1-7):H01L51/40;H01L51/20;H01L51/30;H01L51/10;B29C59/00;C25D1/00 主分类号 H01L27/28
代理机构 代理人
主权项
地址