摘要 |
Die Erfindung gibt ein Verfahren zum Einstellen der Frequenz eines Oszillators an. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen eines Substrats mit einer Anzahl an Öffnungen, das Ausbilden einer leitenden Schicht auf einer ersten Oberfläche des Substrats und das Strukturieren der leitenden Schicht zum Ausbilden einer Anzahl an Leiterbahnen, von denen eine entsprechend den Öffnungen ausgebildet ist, um eine Induktionsschaltung zu werden, Abdecken der leitenden Schicht mit einem Deckel und Schneiden eines Teils der Leiterbahn durch die Anzahl an Öffnungen von der entgegengesetzten Seite der ersten Oberfläche zum Einstellen der Frequenzen des Oszillators.
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