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发明名称 METHOD OF PRODUCTION OF A DRAM CAPACITOR WITH STACKED ELECTRODES
摘要
申请公布号 EP0931339(B1) 申请公布日期 2003.03.12
申请号 EP19970942796 申请日期 1997.09.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHINDLER, GUENTHER;HARTNER, WALTER;MAZURE-ESPEJO, CARLOS
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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