具有氦吹洗窄线装置的高功率气体放电激光器

摘要

一种光栅基窄线装置用的氦气吹洗，用以使在高重复速率下产生高能激光束的窄线激光器中的热失真减至最少。申请者们业已表明，和先前技术中的氮吹洗相比，氦吹洗在性能上有明显的改进。在较佳实施例中氦气流对着光栅面(16)直接越过。在其他实施例中使吹洗气压降低以减小热气体层的光学影响。

主权项

1.用于产生高能激光束的窄线激光器的光栅基窄线装置，其特征在于，所述装置包含：(A)限定光栅面的光栅，(B)至少放置所述光栅的小室，(C)为吹洗所述小室提供氦吹洗的氦气源，(D)扩展来自所述激光器的束以产生扩展束的束扩展装置，(E)调准装置，用以引导所述扩展束至光栅面以使从所述扩展束中选出所需的波长范围。