| 发明名称 |
LOW-NOISE SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1290417(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.12 |
| 申请号 |
EP20010945381 |
申请日期 |
2001.06.08 |
| 申请人 |
FAHRENHEIT THERMOSCOPE LLC |
发明人 |
FERRIEU, FREDERIC |
| 分类号 |
G01J4/04;G01J4/00;G01N21/21;G01N21/27;G01N21/33;(IPC1-7):G01J4/00 |
主分类号 |
G01J4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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