| 发明名称 |
COMPOSITION AND SLURRY USEFUL FOR METAL CHEMICAL MECHANICAL POLISHING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IL130138(A) |
申请公布日期 |
2003.03.12 |
| 申请号 |
IL19970130138 |
申请日期 |
1997.11.21 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
|
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/04;C09K13/06;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):B24B1/00;C23F1/10 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
