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发明名称 Electrostatic clamping of thin wafers in plasma processing vacuum chamber
摘要
申请公布号 GB0302908(D0) 申请公布日期 2003.03.12
申请号 GB20030002908 申请日期 2003.02.08
申请人 TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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