制造喷墨记录头的方法

摘要

一种用于喷墨记录头的基片，具有用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件。该产热元件由用Ta_xSi_yR_z表示的材料制成的薄膜构成，该薄膜具有4000μΩ·cm或更小的电阻率值，其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素，并且x+y+z＝100。具有这样的结构，产热元件即使连续长时间使用，电阻值的改变也处在小的数量之内，因而可以提供高质量的记录图象，且寿命长、可靠性高。

主权项

1.一种用于制造喷墨记录头的方法，所述喷墨记录头具有用于排放油墨的油墨排放开口，用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件，以及其中包括所述产热元件并同时和所述排放油墨开口相通地连接的油墨流动通路，所述产热元件使用由Ta-Si制成的合金靶，并且通过在具有至少一种气体和氩气的混合气体环境中的反应溅射系统形成，所述至少一种气体包括氮气、氧气或碳气。