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发明名称 PROCESS PERTURBATION TO MEASURED-MODELED METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE TECHNOLOGY MODELING
摘要
申请公布号 EP1290718(A1) 申请公布日期 2003.03.12
申请号 EP20010930752 申请日期 2001.04.25
申请人 TRW, INC. 发明人 TSAI, ROGER, S.
分类号 G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/00;G01R31/26 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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