微型胶体推进器及其制作方法

摘要

微型胶体推进器及其制作方法，属于微小卫星应用的电推进器技术领域。该微型胶体推进包括上层硅片、下层硅片和中间的玻璃垫片，形成“三明治”结构。通过采用硅晶片和其微型化设计及微机械制造的方法，大幅度降低了微型胶体推进器的体积、重量和工作电压。例如由192个喷头组成的微型胶体推进器，工作电压1300伏，产生的推力为400微牛，比冲为200秒，体积仅为10毫米×10毫米×10毫米，重量为2克，最小可控的单位冲量为2微牛秒。因此，完全可以达到微小卫星姿态控制对推进器的要求。

主权项

1、一种微型胶体推进器，其特征在于：含有上、下两层硅片及中间的绝缘垫片，下层硅片为源极阵列，所述源极阵列上带有多个中空突起，在中空的突起表面和整个下硅片的表面覆盖有金属层；上层硅片为抽取极阵列，抽取极阵列上带有凹状的金属电极。