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发明名称 CONFIGURABLE SINGLE SUBSTRATE WET-DRY INTEGRATED CLUSTER CLEANER
摘要
申请公布号 EP1290720(A1) 申请公布日期 2003.03.12
申请号 EP20010946369 申请日期 2001.06.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LUSCHER, PAUL, E.;CARDUCCI, JAMES, D.;SALIMIAN, SIAMAK
分类号 H01L21/304;B08B3/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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