| 发明名称 |
CYLINDER, LOAD PORT PROVIDED THEREWITH, AND MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003074515(A) |
申请公布日期 |
2003.03.12 |
| 申请号 |
JP20010266449 |
申请日期 |
2001.09.03 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR LEADING EDGE TECHNOLOGIES INC;RORZE CORP;CKD CORP |
发明人 |
KIMOTO NOBUYO;TOKUNAGA KENJI;SAKATA KATSUNORI;KAJITA NORIO |
| 分类号 |
F15B15/24;F15B15/14;F15B15/26;F16J1/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):F15B15/24 |
主分类号 |
F15B15/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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