发明名称 Method and apparatus for producing hyper-pure semiconductor material, particularly silicon
摘要
申请公布号 US2999735(A) 申请公布日期 1961.09.12
申请号 US19600023524 申请日期 1960.04.20
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REUSCHEL KONRAD
分类号 C01B33/035;C23C16/06 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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