发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP1290714(A1) 申请公布日期 2003.03.12
申请号 EP20010910023 申请日期 2001.03.08
申请人 CAMBRIDGE UNIVERSITY TECHNICAL SERVICES LIMITED 发明人 BAKER, FRANCIS;CRAVEN, JOHN
分类号 G01Q30/02;G01Q30/12;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
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