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发明名称
摘要
申请公布号 JP2003509992(A) 申请公布日期 2003.03.11
申请号 JP20010522649 申请日期 2000.08.15
申请人 发明人
分类号 G12B5/00;G03F7/20;H01L21/027;H02K41/03;(IPC1-7):H02K41/03 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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