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申请公布号 JP2003509228(A) 申请公布日期 2003.03.11
申请号 JP20010523922 申请日期 2000.09.13
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;B01J19/00;B82B3/00;C40B40/06;C40B40/10;C40B40/12;C40B60/14;G03F7/00;H01J9/02;H01L21/027;H01L21/288;H01L21/768;H01L27/28;H01L51/40;(IPC1-7):B82B3/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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