发明名称
摘要
申请公布号 JP3386011(B2) 申请公布日期 2003.03.10
申请号 JP19990201519 申请日期 1999.07.15
申请人 发明人
分类号 H01L31/10;H01L31/0232;(IPC1-7):H01L31/10;H01L31/023 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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