发明名称 |
Piezoelectric motor comprising copper electrodes |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002337017(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.10 |
申请号 |
AU20020337017 |
申请日期 |
2002.08.26 |
申请人 |
ELLIPTEC RESONANT ACTUATOR AG |
发明人 |
ERICK DAVIDSON;BENJAMIN HAGEMANN;BJORN MAGNUSSEN;PETER VARADI |
分类号 |
H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09;H02N2/04;(IPC1-7):H01L41/083 |
主分类号 |
H01L41/047 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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