发明名称 Piezoelectric motor comprising copper electrodes
摘要
申请公布号 AU2002337017(A1) 申请公布日期 2003.03.10
申请号 AU20020337017 申请日期 2002.08.26
申请人 ELLIPTEC RESONANT ACTUATOR AG 发明人 ERICK DAVIDSON;BENJAMIN HAGEMANN;BJORN MAGNUSSEN;PETER VARADI
分类号 H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09;H02N2/04;(IPC1-7):H01L41/083 主分类号 H01L41/047
代理机构 代理人
主权项
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