| 发明名称 |
ERZEUGNIS UMFASSEND EINE FUNKTIONSSCHICHT ENTHALTEND SILIZIUM UND EINE ISOLIERSCHICHT AUS SILIZIUMDIOXID, SOWIE VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59807087(D1) |
申请公布日期 |
2003.03.06 |
| 申请号 |
DE19985007087 |
申请日期 |
1998.07.30 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BIEBL, MARKUS;PINDL, STEPHAN |
| 分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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